[Download] "Mikrosystemtechnik" by Ulrich Hilleringmann * eBook PDF Kindle ePub Free

📘 Read Now     📥 Download

eBook details

• Title: Mikrosystemtechnik
• Author : Ulrich Hilleringmann
• Release Date : January 13, 2008
• Genre: Engineering,Books,Professional & Technical,Science & Nature,
• Pages : * pages
• Size : 6522 KB

Description

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Books Free Download "Mikrosystemtechnik" PDF ePub Kindle