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[Download] "Mikrosystemtechnik" by Ulrich Hilleringmann * eBook PDF Kindle ePub Free

Mikrosystemtechnik

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eBook details

  • Title: Mikrosystemtechnik
  • Author : Ulrich Hilleringmann
  • Release Date : January 13, 2008
  • Genre: Engineering,Books,Professional & Technical,Science & Nature,
  • Pages : * pages
  • Size : 6522 KB

Description

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.


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